טריכלורוסילאן

Trichlorosilane (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) הוא נוזל חסר צבע, נדיף מאוד עם ריח חד וחונק מימן כלורי. רותח ב-31.8 מעלות ומגיב באלימות עם לחות, זהו חומר ההזנה העיקרי לתהליך סימנס לייצור פוליסיליקון -בטוהר גבוה עבור תאים סולאריים פוטו-וולטאיים ופלוסים מוליכים למחצה. TCS נמצא בשימוש נרחב גם בגידול פרוסות סיליקון אפיטקסיאליות, סינתזת סיליקון אורגנוסיליקון (שמני סיליקון, גומיות, שרפים, חומרי צימוד), שקיעת סרט דק סיליקון CVD, וכחומר מפחית סלקטיבי בסינתזה אורגנית. זמין בדרגה תעשייתית (גדול או שווה ל-99.0%) ובדרגה אלקטרונית (עד טוהר 9N). מסווג כמגיב למים ודליק מאוד (UN 1295, Class 4.3+2.3, PG I) עם טווח פיצוץ רחב ביותר של 1.2%–90.5%; לטפל רק בתנאים ללא מים לחלוטין עם הגנה חנקן יבש.